слой кремния, полученный методом химического осаждения из паровой фазы

cheminiu gariniu būdu nusodintas silicio sluoksnis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. chemical vapor deposition silicon vok. chemische Gasphasenabscheidungssiliziumschicht, f rus. слой кремния, полученный методом химического осаждения из паровой фазы, m pranc. couche de silicium de déposition chimique en phase vapeur, f